等級

>=0.5um塵粒數

>=5um塵粒數

顆/立方英尺

顆/立方米

顆/立方英尺

顆/立方米

100

100

3,500

/

/

1,000

1,000

35,000

7

250

10,000

10,000

350,000

70

2,500

100,000

100,000

3,500,000

700

25,000

氣流形式

適用潔凈級別

優點

缺點

垂直層流底回風

10級,100級

1 效果很完全
2 運轉即成穩定狀態
3 粉塵堆集及再飄浮極少
4 管理容易

1 設備造價非常高
2 擴展比較困難
3 維護費用高

垂直層流側回風

10級,100級

1 效果完全
2 運轉即成穩定狀態
3 粉塵堆集及再飄浮極少
4 管理容易

1 設備造價非常高
2 擴展比較困難
3 維護費用高

混流方式

100級,1000級

1 結構比較簡單
2 效果較好

1 造價較高
2 運行,維護費較高

亂流方式

1000級,
10000級,
100000級

1 結構簡單
2 造價低
3 擴展方便

1 易產生渦流
2 不易管理

行 業 名 稱

所 需 凈 化 級 別

10級

100級

1000級

10000級

100000級

電子行業

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微電子行業

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計算機行業

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半導體行業

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精密機械

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精密儀器,儀表

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激光行業

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醫藥行業

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醫院

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生物制品

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實驗室,無菌室

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精細化工

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食品行業

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