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      半導體行業凈化解決方案
      
	
      晶圓設備，微粒過濾和控制AMC是必須的。微粒過濾和控制AMC是高收益、低退貨率的半導體產業首要擔心的問題。不能很好的在潔凈室或設備中控制微?；駻MC將大大的削弱企業的經營利潤。潔凈室的主要的問題是產品、工具、加工過程和氣味控制的污染。
      

      傳統的通風形式是在車間的整個天花板上布滿高效過濾器，整個地面為回風柵板。如今我公司生產的FFU 使用自帶風機的過濾裝置，解決了繁復的安裝和性價比問題，是目前市場上一種安靜、價格優良的機組，為潔凈室輸送高質量的循環空氣。
      

       
      

      

      


      


      污染物
      
      		


      來源
      
      		


      引發問題
      
      		


      解決方案
      
      		

      

      


      粉塵
      
      		


      空氣
      
      		


      造成集成電路斷路、短路，影響成品率
      
      		


      化學過濾模塊+普通、高效過濾器/FFU
      
      		

      

      


      NH3，NMP
      
      		


      外氣
      
      		


      “T-top“現象
      
      		


      化學過濾模塊
      
      		

      
      

      

      

       
      

       
      

      部分成交客戶
      

       
      
    
      
	
      
    	
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